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“国产光刻机工厂”闹乌龙 清华大学相关研究到底是什么?

文|财新 刘沛林
2023年09月21日 18:45
清华大学2017年开启的SSMB-EUV光源项目在全球来看仍是一项前沿的光学技术研究。目前仅从原理上验证了SSMB光源可应用于EUV,距离真正能用于光刻系统仍有距离
news 原图 资料图:北京,怀柔科学城高能同步辐射光源项目。近日,国家开发投资集团下属中国电子工程设计院有限公司发声明称,短视频平台热传的“国产光刻机工厂”项目配图为该院在北京怀柔建设的北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。图:视觉中国

  【财新网】受到网络热炒的“国产光刻机工厂”被证实是一场乌龙。近日,国家开发投资集团下属中国电子工程设计院有限公司(下称“中国电子院”)发声明称,短视频平台热传的“国产光刻机工厂”项目配图为该院在北京怀柔建设的北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。该项目是国家“十三五”重大科技基础设施,是中国第一台高能量同步辐射光源,2019年就开始了建设,将于2025年投入使用。

  据中国电子院介绍,HEPS项目是通过加速器将电子束加速到6GeV(十亿电子福特,能量单位),然后注入周长1360米的储存环以光速维持运转,电子束在储存环的不同位置会沿偏转轨道切线的方向,释放出稳定、高能量、高亮度的光,即同步辐射光。同步辐射光可穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度观察微观世界,相当于一台巨型X光机,而并不是网传的光刻机工厂。

责任编辑:覃敏 | 版面编辑:肖子何

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