【财新网】(记者 屈慧)中芯国际采购EUV(极紫外光刻)光刻机是否会生变数?即将上市的中芯国际于7月6日上午举办网上投资者路演,董事长周子学在路演时回应,公司目前量产和主要在研项目暂不需用到EUV光刻机,光刻机采购如常。
光刻机是晶圆制造的核心设备。中芯国际集成电路制造有限公司(00981.HK,下称中芯国际)当前最先进技术工艺为14纳米级晶圆制造,正在研发12纳米工艺。虽然中芯国际现在量产产品不需要用到EUV光刻机,但未来如果迈向7纳米、5纳米等更先进的晶圆制造,则必须要用到荷兰ASML公司的EUV光刻机。